# 2025年新品發布會#

日期：2025年10月10日

時間：8：30-18：30

近期我司新推出升級了EBARA荏原ESA500W干式真空泵作為大型腔室高速排氣的專用設備，其核心參數體現了高效能與可靠性的結合。該泵采用變螺距螺桿設計，抽速范圍覆蓋500-1000m3/h，極限真空可達0.1Pa，排氣溫度控制在60℃以下，顯著優于傳統油封泵的能耗表現。其無油化結構設計避免了介質污染，特別適用于半導體、光伏等對潔凈度要求嚴苛的領域。關鍵部件采用耐腐蝕合金材質，配合間隙密封技術，在連續運行中仍能保持穩定的抽氣性能。此外，模塊化設計支持快速維護，背壓耐受能力達0.3barg，可適應復雜工況下的氣體排放需求。 EBARA荏原ESA500W干式真空泵憑借其無油潔凈、高效節能的核心特性，在半導體制造、光伏電池生產等精密工業領域展現出不可替代的優勢。其變螺距螺桿設計使抽氣效率提升30%，配合0.1Pa的極限真空度，能有效滿足晶圓蝕刻、薄膜沉積等工藝對超潔凈環境的要求。在光伏行業，該泵可快速排出鍍膜腔室內的氣體殘留，避免傳統油泵導致的涂層污染，同時降低能耗成本。此外，其耐腐蝕材質和間隙密封技術使其在化工制藥領域同樣適用，可安全處理含腐蝕性氣體或微小顆粒的介質，如反應釜排氣、溶劑回收等場景。模塊化設計進一步擴展了應用范圍，特別適合需要頻繁維護的實驗室真空系統或連續生產的工業線，成為高潔凈度 。